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GB∕T 38447-2020 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

2020-11-15 人气：208大小： 1.29MB

本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法，包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。

GB∕T 38446-2020 微机电系统（MEMS）技术带状薄膜抗拉性能的试验方法

2020-11-15 人气：261大小： 985KB

本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。

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