本标准规定了三甲基镓的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全。

标准简介
本标准规定了三甲基镓的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全。 
本标准适用于镓镁合金法、三氯化镓法、格式试剂法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基镓。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。

英文名称： Electronic grade trimethylgallium
 中标分类： 化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
  ICS分类： 化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门： 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期： 2018-12-28
实施日期： 2019-04-01
提出单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
 归口单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
起草单位： 江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院
起草人： 陈化冰、孙明璐、王香、曹可慰
页数： 12页
出版社： 中国标准出版社